產品分類
測量范圍:可以進行從大氣壓到5×10-2 Pa
抗沖擊性提高:具有高抗沖擊性的結構設計(正在申請)
優異的大氣壓精度:無論真空計的安裝位置如何,精度均在±20%以內(日本第4878289號)
燈絲材料·鉑(Pt):由高度耐腐蝕的鉑制成的燈絲
可視化程度提高:配備可確認異常的LED
一觸式調整:一鍵式即可進行大氣壓力調整和零點調整
維護:更換測定子更輕松
適用測定子擴展:除了NW16 / 25規格外,還將Φ15/ 18規格,拼接法蘭規格和錐形螺絲R1 / 8規格添加到產品陣容中
太陽能電池?FPD?半導體?電子部件等各種制造設備
用于設備的低真空領域的工藝控制
用于爐等各種工業設備的低真空領域的工藝控制
用于in-line式?枚葉式等工藝腔室多的各種制造設備的低真空領域的工藝控制
用于有振動?沖擊的各種真空排氣系統
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